FPC外观AI检测机器人
FPCA外观AI检测机器人
晶圆外观AI检测机器人
ICs Unit外观AI检测机器人
ICs Strip外观AI检测机器人
Inline线路缺陷AI检测机器人
光电板外观AI检测机器人
“人，机，法，料，环”
AI全自动监控系统
品质管控和良率管理
AI辅助决策系统
高端制造工厂
AI仿真模拟系统
功能特点
晶圆外观AI检测机器人系列
• 感图自研全光谱多维度的光源系统，专为高精度检测定制，最高精度可达1um
• 行业领先的算法体系、辅以丰富的缺陷库，对缺陷进行智能化精准分类及分析
• 同時支持（明场和暗场）晶圆正面和背面检测
• 无须设置Recipe，使用方便，在光刻过程中实现100%晶圆检测，完成取代人工抽检，降本增效
检出率 ≥ 99.9%
漏检率 ≤ 0.1%
假点率 ≤ 1%
* 针对已充分学习的缺陷
AI 检测流程闭环
01 图像采集筛选
02 数据处理标注
03 AI模型训练
04 推理识别
产品特点
人工智能软硬一体| 光机电算软硬整体解决方案
应用范围
高速晶圆宏观检测
缺陷类型
切割道、裂缝、划痕、脏污、Frame与Tape上的孔、气泡、波浪纹等
实时良率监控+数据统计分析+SECS協議MES链接等
产品能力
技术参数
主要规格
可检尺寸
CCD：2.5μ，16K 彩色高速线扫；
全维度光源(可进行明场和暗场检测)
赋能智能制造
“光，机，电，算，软”一体化AI产品线 通过自主知识产权的DL，ML和CV算法，实现复杂场景复杂非规则缺陷的检测和细微特征的精准量测
