FPC外观AI检测机器人
FPCA外观AI检测机器人
晶圆外观AI检测机器人
ICs Unit外观AI检测机器人
ICs Strip外观AI检测机器人
Inline线路缺陷AI检测机器人
光电板外观AI检测机器人
“人，机，法，料，环”
AI全自动监控系统
品质管控和良率管理
AI辅助决策系统
高端制造工厂
AI仿真模拟系统
功能特点
Inline线路缺陷AI检测机器人系列
• 外观检、线路检、涨缩量测三合一，精简检测工站
• 行业领先的算法(AI+CV)体系、辅以丰富的缺陷库，对缺陷进行智能化精准分类及分析
• 最小线宽20μm，UPH=600，双片检测无需翻转，提升产线检出效
• 实时监控良率变化，辅助产线决策，智能化品质管控与良率改善
检出率 ≥ 99.9%
漏检率 ≤ 0.1%
过杀率 ≤ 5%
* 针对已充分学习的缺陷
AI 检测流程闭环
01 图像采集筛选
02 数据处理标注
03 AI模型训练
04 推理识别
产品能力
产品特点
应用范围
缺陷类型
技术参数
主要规格
外观尺寸
可检尺寸
视觉参数
赋能智能制造
“光，机，电，算，软”一体化AI产品线 通过自主知识产权的DL，ML和CV算法，实现复杂场景复杂非规则缺陷的检测和细微特征的精准量测
